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檢漏方式多種多樣,本節(jié)主要介紹兩種高感度的檢漏方式。

1.殘留氣體分析法 殘留氣體分析使用四極濾質(zhì)器。通過(guò)分析真空腔體內(nèi)的殘留氣體,當(dāng)某種特定的氣體量多的時(shí)候可知有漏氣。下圖是有檢測(cè)殘留氣體的例子。沒(méi)有漏氣時(shí),質(zhì)量14,28,32的峰值分別是CH2,CO,O2,如果有漏氣,則N,N2,O2會(huì)從大氣側(cè)流入,使相應(yīng)的質(zhì)量數(shù)峰值增加。

2.探測(cè)法 從外部用氦氣吹向被檢測(cè)部,然后由連接在真空腔體上的氦質(zhì)譜檢漏儀來(lái)檢測(cè)侵入的氦氣,這種方式可檢測(cè)出極少的漏氣。

檢測(cè)氣體使用氦氣的原因如下：

1.氦氣在空氣中的存在量?jī)H為5ppm,如果有漏氣容易查清原因。 2.因?yàn)槭嵌栊詺怏w,在真空腔體內(nèi)不容易吸附在腔體上,容易放出。 3.從腔體放出的氣體中幾乎不包含氦氣。 4.沒(méi)有毒性。